實驗室超純水設備一般包括預處理系統(tǒng)、反滲透裝置、后處理系統(tǒng)、和電氣控制系統(tǒng)等。預處理系統(tǒng)一般包括原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟化器，精密過濾器等。其主要作用是降低原水的污染指數(shù)和余氯等其他雜質(zhì)，達到反滲透的進水要求。預處理系統(tǒng)的設備配置應該根據(jù)原水的具體情況而定。